型式	単位	GTE-3-0	GTE-0-2	GTC-1-0	GTC-2-0	GTC-6-0	GTC-0-1
処理方式		乾式	乾式	乾式	乾式	乾式	乾式
処理可能ガス		HBr、Cl2、BCl3、F2、SiF4、HF、COF2、C5F8、C4F6 など	NF3、N2O、NO、NO2、SiF4、HF、F2 など	SiH4、PH3、AsH3、TMS など	NH3、SiH2Cl2、SiCl4 など	TEOS、TMB、TME、O3 など	ClF3、HF、F2、HCl など
最大流入ガス許容量	L/min	100	80	100	100	100	100
寸法 Single	W x D x H mm	600x600x2,000	900x600x2,000	600x600x2,000	600x600x2,000	600x600x2,000	600x600x2,000
Dual	W x D x H mm	900x600x2,000	-	900x600x2,000	900x600x2,000	900x600x2,000	900x600x2,000